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抽气速率:800L/s极限压强:5×10-7 Pa最大前级压力:100Pa电机转速:24000r/min启动时间:<10min
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抽气速率:4000L/s极限压强:5×10-7 Pa最大前级压力:100Pa电机转速:24000r/min启动时间:<10min
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