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真空系统中漏气流量的平衡表示式如下：
式中 p-系统达到的压力;
Po-真空泵的极限压力;
S-系统的有效抽速;
Qo-由系统外部流向系统内部的总漏率;
EQi——虚漏所形成的总“漏”率。
所谓虚漏，其来源是多方面的，如真空系统结构材料表面的出气，试验物或工件的出气，系统内各种材料的蒸气，气体通过器壁向系统内的渗透以及系统的死空间中气体的流出等。
检漏中应注意区分Qo与EQi。相对虚漏EQi而言，漏气Qo也可称为实漏。雅之雷德机电科技：在不特别加以说明时，所说的漏气都是指实漏。
对于与真空泵隔离开的密封容器或器件(如电子管、半导体器件等)来说，S=O，这时若Po<p，则上式变成
式中 t-封离后所经历的时间;
V-密封容器的总体积;
Pt-经历时间￡后系统(或容器)中的压力;
p，Qo，Qi与上式相同。
真空系统最小可检分压力：
最小可检分压力反映质谱计探头的分压力灵敏度和测量仪器检测离子流信号的综合指标。对于规定的气体的最小可检分压力是检测一个等于两倍噪声的离子流输出信号(即信噪比为2)。
真空系统最大工作压力：
质谱计在不同应用条件下允许工作的最大全压力极限。一般这项指标是对质量数28的氮峰测定的。在定性分析中，最大工作压力通常定义为，在该压力下仪器的分压灵敏度下降到线性值的一半，或定义为J十-p曲线中最大J+值对应的p值。
某些仪器给出的指标是仪器能指示的最大工作压力。在该压力下，分析器仍具有一定的质量分离功能，离子源有一定的离子产额，灯丝仍可正常工作。
在进行定量测量时，仪器的最大工作压力表征为，在该压力范围内各种离子的离子流与压力的关系均呈线性。
真空系统最小可检浓度：
表征仪器对气体混合物中所能测量的某一组分的最小值。通常用P最小/P全表示，这里，P最小为气体混合物中某一组分的最小分压力，P全为气体混合物的全压力。
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