法国Alcatel阿尔卡特真空泵，是一个国际性的真空泵品牌，为客户提供真空泵、检漏仪、真空计以及微加工系统等。阿尔卡特的机械泵（油润旋片泵、干式真空泵）广为人知，抽速从0.5L/S到30L/S，广泛应用于捡漏、冷冻干燥、化工分馏、微电子工业、分析仪器、冰箱空调生产线等各种行业。

（阿尔卡特2005真空泵）

阿尔卡特Alcatel的干式真空泵，在半导体工业中的应用是深入人心的。其分为三个级别，H型针对非常苛刻的工艺；P型针对中等工艺；LM型，针对干净的工艺。具有体积小，占地面积小，使用成本低，高抽速以及高极限压力，在苛刻的环境下，具有出色的运行效果。

这几年，随着国产真空技术和结构升级，作为国产真空泵的代表之一，好凯德干式真空泵在半导体行业中的应用广度和深度有很大提升。

（好凯德干式真空泵）

好凯德干式真空泵应用于半导体行业的关键优势在于：
1.消除了工艺过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险
2.不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境
3.它是完全干燥的，对上下游工艺没有任何污染
4.干式真空泵中不会发生任何腐蚀
5.效率更高，耗电更少
6.吸入的溶剂或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收

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